德国进口原装BIRD油冷式终端8921适用范围分析

德国进口原装BIRD油冷式终端8921是一款高性能的射频负载设备，专为现代等离子体工艺中的高精度射频能量调控设计。

BIRD油冷式终端8921适用于需要精确射频功率调节和控制的等离子体应用，如半导体制造、材料加工、航空航天以及国防等领域的高性能等离子工艺。

产品名称：5千瓦超稳定油介质射频终止负载

功率额定值：5千瓦

频率范围：从直流至28 MHz，部分型号可达1 GHz

最大电压驻波比（VSWR）：1.1，名义VSWR低于1.05:1

阻抗：50欧姆（标称值）

VSWR稳定性：在稳定性频率13.56 MHz ± 10 kHz下，从0至100%额定功率变化小于0.1分贝

连接器：标配为“QC"型LC（女插头）

可选配件：互锁温控开关，默认为常闭，温度达到236°C（457°F）时打开

温控开关额定值：115 VAC，10 A 或 230 VAC，5 A

温度范围：工作温度+5至+40°C（+41至+104°F），储存温度–40至+45°C（–40至+113°F）

海拔高度：1520米（5000英尺）

湿度：最高95%非冷凝

冷却方式：油介质和自然对流冷却

尺寸：32.8" x 9.5" x 26.9"（832 x 241 x 681毫米）

重量：126磅（57千克）

BIRD油冷式终端8921以其优秀的稳定性与精确度，有效地解决了在复杂等离子应用场合中对过程重复性和一致性的高度需求。

产品避免了负载预热阶段和由于校准时间差异带来的重复性风险，从而显著降低了与校准相关的误差。

产品常与精密射频功率传感器配合使用，可以迅速而准确地测量射频发生器的功率输出。

超稳定低VSWR负载，用于快速和精确地测量发电机输出功率。

在过程临界频率下，VSWR的总变化小于0.1分贝。

可选互锁温控开关，提供额外的安全保护。

油介质和自然对流冷却方式，确保设备长时间稳定运行。

BIRD油冷式终端8921适用于各种需要高精度射频能量调控的等离子体项目，如刻蚀、沉积、溅射等工艺过程。

注意事项

在使用前，请确保设备已正确安装并连接至适当的电源和射频系统。

在操作过程中，请密切关注设备的运行状态和仪表盘上的各项参数变化。

如发现异常情况，应立即采取措施进行处理，并联系专业人员进行维修。

定期对设备进行清洁和保养工作，以确保其处于良好的工作状态。

德国进口原装BIRD油冷式终端8921以其优能的性能和稳定的表现，在等离子体工艺中发挥着重要作用。

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